Вакуумные системы

В зависимости от назначения специального испытательного оборудования (параметров режима испытаний или технологического режима) в состав оборудования могут быть включены вакуумные системы низкого и высокого вакуума.

Низковакуумные системы (разряжение до 133 Па (1 мм Рт. Ст.) построены на базе пластинчато-роторных вакуумных насосов с масляным уплотнением.

Средневакуумные (разряжение (133...1e-4) Па) и высоковакуумные системы (разряжение менее 1e-5 Па) строятся по последовательной схеме; при этом форвакуумная система реализуется на базе пластинчато-роторных вакуумных насосов; система выского вакуума – на базе турбомолекулярных вакуумных насосов.

В зависимости от требуемого времени обеспечения разряжения в установочном отсеке в системах может быть использована параллельная схема работы вакуумных насосов.

В качестве запорной арматуры в вакуумных системах используются специализированные вакуумные клапаны и натекатели.

Вакуумные системы оснащаюся фильтрами на стороне отбора воздушной смеси (фильтр-сепаратор) из установочного отсека и на стороне отвода воздушной смеси (воздушный фильтр). Для больших систем может быть реализован отвода воздушной смеси за пределы помещения с установленным оборудованием.

В качестве измерителя-преобразователя давления в установочном отсеке в вакуумных системах используются прецизионные мембранные преобразователи (для форвакуумных систем) и ионизационные преобразователи (для высоковакуумных систем).

В вакуумных системах используются специализированные материалы. Все компоненты установочного отсека выполяются из металлов с низкой эмиссией материала &ndsh; нержавеющие стали (марки 12X18H10T, AISI321).